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美國計量測試學會純水水質標準

序號 水質項目 單位 E-Ⅰ E-Ⅱ E-Ⅲ E-Ⅳ
1 電阻率，25℃ MΩ·cm 18① 15② 2 0.5
2 二氧化硅（全） μg/L 5 10 100 1000
3 微粒（粒徑＞1μm） 個/mL 2 5 100 500
4 微生物 個/mL 1 10 50 100
5 有機物（TQC） μg/L 50 200 1000 5000
6 銅Cu μg/L 2 10 100 1000
7 氯Cl μg/L 2 10 100 500
8 鉀K μg/L 1 10 200 1000
9 鈉Na μg/L 1 10 200 1000
10 鋅Zn μg/L 5 20 200 500
11 總固體 μg/L 10 50 500 2000

①90％時間純水電阻率應≥18 MΩ·cm，允許短時間不小于17 MΩ·cm。
②90％時間純水電阻率應≥15 MΩ·cm，允許短時間不小于12 MΩ·cm。
說明： 1. 表中2～11項均指高允許含量。
2. 本表按1983年資料摘錄。